深紫外LED一般指发光中心波长在300nm以下的LED,但有时将发光波长大于380nm时称为近紫外LED,而高于300nm时称为近紫外LED。因短波长光线的杀菌效果高,因此紫外LED常用于冰箱和家电等的杀菌及除臭等用途 。
产品方面,裕田光电上市了发光中心波长从255nm~365nm不等的品种,波长不足300nm的深紫外LED的开发活动也很活跃。2008年理化学研究所和松下电工曾公布,采用GaN类半导体的InAlGaN开发出了发光中心波长为282nm,光输出功率为10mW的深紫外LED。波长更短的深紫外LED方面,NTT物性科学基础研究所采用AlN材料开发出了发光中心波长为210nm的深紫外LED。